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第二百五十八章 光刻机组装计划(2 / 5)

只见屏幕上,显示着一个由无数颗代表了原子的球体连接而成的晶体结构。

这些原子的结构十分奇特,但是如果一看的话,却也会发现其中的规律,如果从其某一个晶面来看的话,就会发现它每一个晶面的原子都是错位的。

而这就是林晓研究了这么久之后,经过缜密的计算后,得出来的一个能够放大和缩小x光的晶体结构。

当然,这只是他计算出来的结果,现在还需要通过模拟来确定其实际效果如何。

“嗯,现在该进行模拟了。”

从软件中找到了代表x光的选项,然后便开始设置x光的照射方向和角度,以及波长。

根据他之前的计算,能够更好地发挥衍射作用,x光的波长不能太小了,不然的话,波长太小的x光,穿透性能也更强,想要控制其衍射,就更难了。

所以,x光的波长应当为3.56nm。

而这是利用衍射效应,所以不能像euv光那样垂直照射,而是需要一个角度,也正是需要利用控制x光的入射角度,来控制x光的放大和缩小。

“唔,那就从30度入射角开始吧。”

输入了几个数据后,眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了x光的粗虚线,这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中,随后,x光便开始在其中开始了衍射的过程,粗的虚线在衍射的过程中,被分解为了几道虚线,然后又不断地在里面穿透,直到最后,穿透了这个晶体,最后形成了一个更大的照射面。

看到这一幕,林晓微微一笑。

不错,就和计算中的一样。

当入射角小于57.5度的时候,x光就能够被放大,而入射角大于这个角度的时候,x光就会被缩小。

这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小,而是将x光束的辐照范围给放大和缩小,就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦

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