第56章 不是？我江城六中要报李东的号？（3 / 4）

分钟了。

李东坐在座位上，看着试卷的最后一页，眼神很复杂。

他一直觉得自己为了改变命运，在群里披着马甲薅那些科学巨匠的羊毛，已经算是挺不要脸的行为了。

但是，今天看了华轩科技出的这道压轴题，李东才知道，什么叫“资本的厚颜无耻”！

【某半导体设备企业正在研发 28nm工艺节点量产型浸没式光刻系统，核心要采用 193nm arf准分子激光光源，局部浸没式成像架构，在投影物镜最后一片镜片与晶圆表面之间，填充折射率 n=1.44的超纯水作为成像介质，以提升系统分辨率和成像精度。

系统工作时，晶圆台以匀速直线扫描完成整片晶圆曝光，曝光激光的能量会在浸没液中产生局部瞬态温升，进而引发成像误差。】

某半导体企业？到底是哪个半导体企业呢？好难猜呀。

看完这个背景，再看问题。

李东的眼角都开始抽搐了。

【请你设计一套配套的成像误差实时补偿方案，需同时满足以下所有硬性指标：

补偿精度：可将浸没介质折射率波动带来的曝光线宽误差，控制在±1.2nm以内；

响应速度：补偿延迟≤1ms，可适配晶圆台≥1200mm/s的匀速扫描速度；

抗干扰能力：补偿效果不受浸没液瞬态温度波动、流速扰动、溶解气体含量变化的影响；

结构约束：方案不得改动现有曝光光学系统的核心结构与参数，不得改变浸没介质的成分与基础物性，无任何与晶圆表面直接接触的部件。

量产要求：方案核心部件可标准化批量生产，单套系统物料成本≤100万元人民币。】

“呵呵。”

这题如果是说人话的话就是：

我们国威装备现在在搞浸没式光刻机。