复大物理楼考场内。
李东皱着眉头审题
“系统匀速扫描……浸没液瞬态温升……”
他在草稿纸上写下了几个流体力学和热传导的核心参量。
“要去解决水的问题呀！”
“用微流控主动散热系统怎么说？”
“可以在晶圆台上方建个高频的循环流道，把热量瞬间带走。”
李东刚想到就立刻否决了。
“不行，不行。”
“晶圆台的扫描速度至少1200mm/s，单脉冲激光带来的浸没液瞬态温升时间都是微秒级的，循环流控的热响应速度根本追不上。”
“而且还要把局部温升控制到 0.001c以内，才能满足线宽要求。”
“100万可能搞不定吧。”
李东真·挠了挠头，尝试用第二个角度切入。
“那自适应光学补偿呢？在光路中加入可变形反射镜，实时测温然后抵消光程差？”
李东摇了摇头，再次否决。
“题目上说不能改动现有曝光光学系统的结构和参数，这也不行呀。”
这都是死胡同啊。
李东想到能用的理论方案，只要一加上这苛刻的“工程落地约束”，瞬间就全军覆没了。
与此同时，距离李东不远处的乔凡，额头上已经渗出了汗珠。
这位被蓉城七中当成宝贝的天才，此刻草稿纸上密密麻麻写满了纳维-斯托克斯方程（n-s方程）和瞬态热传导偏微分方程。
他用有限差分法推导出了热量在高速流动纯水中的三维数值分布模型，在理论上把流场和温度场的耦合关系算到了极致。
可是……然后呢？
算出来了又怎样？要实现这种级别的温度控制，设备的体积和造价……。
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