,很稳妥,但也很无趣。
虽然现在还在大规模商用,但对于追求技术突破的工程师来说,这种答案就像是白开水,解渴但不提神。
“现在的学生啊,书读得倒是多,就是少了点灵气。”
“不过也能理解,毕竟没下过产线,不知道成本两个字怎么写……”
张默随手在卷面上打了个满分。
就在他打个哈欠,想着晚上吃火锅是点微辣还是中辣的时候,一张试卷让他微微一愣。
【方案名称:双光束激光干涉无掩模光刻】
他揉了揉眼睛,再确认了一次,确实没有眼花。
就是双光束激光干涉无掩模光刻。
刚才还昏昏沉沉的脑子,现在一下子就清醒了。
这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路!
他急忙往下看去。
“设两束波长为λ的相干光,对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束,干涉条纹周期 d =λ/(2sinθ)……”
“亚波长分辨率验证……”
张默是越看越心惊,越看越精神。
这个学生的解法,虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式,没有用到他们工程中那些复杂的傅里叶光学变换和矢量衍射理论。
但是!
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备注更是让他眼前一亮。
【注:此方案可以省去高精度掩模版制造的环节,而且不需要投影物镜组,虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高,但在周期性微纳结构的小批量高精度制造中,成本优势巨大。】
“嘶。”
张默咽了咽口水,忍不住喝了一口桌上的咖啡。
“有灵性,这是真的懂行。”
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